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高纯气体净化设备
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超高纯氩、氦气体纯化器

采用高效吸气剂对Ar，He气体进行深度纯化，也可以用于Kr， Xe等稀有气体的纯化。采用owx工艺。首先使用非消耗型纯化材料预脱气体中O2、H2O、C02、H2、CO,、CH4等大量杂质，延长了贵重消耗型吸气剂的使用寿命，抗原料气瞬间波动能力强（200%)。采用进口洁净管道、阀门、全自动轨道焊、专利内加热抛光反应器，全面保证产品质量。集约化箱体包装，全自动运行。